積層マイクロカンチレバー構造の作製とそれを用いた小型センサデバイス

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: TER15008

グループ名: 【D】産業応用部門 交通・電気鉄道研究会

発行日: 2015/03/18

タイトル(英語): Fabrication of Multi-layer Micro-cantilever Structure and Its Application to Miniature Sensor Devices

著者名: 寒川 雅之(新潟大学),安部 隆(新潟大学)

著者名(英語): Masayuki Sohgawa(Niigata University),Takashi Abe(Niigata University)

キーワード: マイクロカンチレバー|ＭＥＭＳ|反応性イオンエッチング|犠牲層エッチング|触覚センサ|micro-cantilever|MEMS|reactive ion etching|sacrificial etching|tactile sensor

要約(日本語): 我々はウェットエッチングやドライエッチング等を用いたMEMSプロセスによりシリコンやチタンを微細加工し、μmサイズのカンチレバーの作製を行っている。カンチレバー上に薄膜を積層することで、その立体形状の制御や撓みによる応力変化の検知等が可能であり、触覚センサ等のマイクロメカニカルセンサへの応用を行っている。本論文ではマイクロカンチレバーの作製プロセスとその応用センサデバイスについて報告する。

要約(英語): We have fabricated micro-cantilevers of silicon or titanium using wet or dry etching process. The micro-cantilevers with functional thin films can be applied to micro-mechanical sensors such as tactile sensors. In this paper, fabrication process and application to miniature sensor devices of the micro-cantilevers have been reported.

原稿種別: 日本語

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