近接・触覚複合MEMSセンサへのプローブ光LED集積化

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: TER18035

グループ名: 【D】産業応用部門 交通・電気鉄道研究会

発行日: 2018/03/01

タイトル(英語): Integration of LED for Probe Light on Proximity and Tactile Combined MEMS sensor

著者名: 志和 昂(新潟大学),荒木 凌馬(新潟大学),安部 隆(新潟大学),野間 春生(立命館大学),寒川 雅之(新潟大学)

著者名(英語): Takashi Shiwa(Niigata University),Ryoma Araki(Niigata University),Takashi Abe(Niigata University),Haruo Noma(Ritsumeikan University),Masayuki Sohgawa(Niigata University)

キーワード: 触覚センサ|近接センサ|光センサ|異種集積化|Tactile Sensor|Proximity Sensor|Optical Sensor|Hetero-integration

要約(日本語): 本研究では、これまで開発してきた近接・触覚複合MEMSセンサにおいて、接触直前の近接検知を可能とするため、プローブ光用LEDをセンサに集積化した。このセンサは対象物に光を当てた際の反射光の強度から物体の近接を検知しており、これまではセンサに隣接してLEDを設置しプローブ光としていたが、検出できる近接距離には下限があった。センサのチップ表面にLEDを表面実装し集積化することで、距離0までの近接検知を可能とした。

要約(英語): In this work, LED for probe light has been integrated with proximity and tactile MEMS sensor. This sensor detects proximity distance using intensity of reflected light from the object. In the previous work, detectable proximity distance has the limit because of separation of sensor and LED. The limit of detectable distance becomes to almost 0 by integration of LED on the sensor surface.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 3,776 Kバイト