自律センサを指向した電圧増倍による圧電MEMSハーベスタ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: TER19004

グループ名: 【D】産業応用部門 交通・電気鉄道研究会

発行日: 2019/02/28

タイトル(英語): Piezo-MEMS energy harvesters based on multiplication of output voltage for autonomous sensor applications

著者名: 饗庭 岳(兵庫県立大学),平井 翔太(兵庫県立大学),神田 健介(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),前中 一介(兵庫県立大学)

著者名(英語): Takashi Aiba(University of Hyogo),Shota Hirai(University of Hyogo),Kensuke Kanda(University of Hyogo),Takayuki Fujita(University of Hyogo),Kazusuke Maenaka(University of Hyogo)

キーワード: 圧電|ハーベスタ|ＰＺＴ|多層|直列接続|スパッタリング|Piezoelectric|Harvester|PZT|multilayer|series connection|Sputtering

要約(日本語): IoT社会の実現には自律センサノードが必要であるが，大量生産に適したMEMSハーベスタでは実用的な絶対発電量や耐久性を得ることが難しい。そこで本研究では，80 ?m厚のSi弾性層を持つユニモルフカンチレバー構造を提案し，圧電層として合計10 ?m厚の多層PZT薄膜を形成，さらに分割・直列接続をすることにより実用水準の絶対発電量，電圧，耐久性を実現するデバイスの設計を行った．

要約(英語): MEMS energy harvesting devices are inevitable for autonomous sensors to realize the IoT society. However conventional the absolute power of piezoelectric MEMS energy harvesting devices has been typically poor. Inaddition, to obtain sufficient durability and output voltages has been also challenge. In this research, these problems are overcome by using series-connection of thick PZT layer, which is realized by multilayer sputtering technique. The design, fabrication, and evaluation are discussed in the presentation.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,125 Kバイト