絶縁に適した静電駆動型MEMS電圧センサ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: TER19005

グループ名: 【D】産業応用部門 交通・電気鉄道研究会

発行日: 2019/02/28

タイトル(英語): ELECTROSTATICALLY DRIVEN ISOLATED VOLTAGE SENSOR

著者名: Nguyen Hai Minh(豊田工業大学),延永 尚記(豊田工業大学),桝野 雄矢(矢崎総業),杉山 洋貴(矢崎総業),石居 真(矢崎総業),佐々木 実(豊田工業大学)

著者名(英語): Hai Minh Nguyen(Toyota Technical Institute),Naoki Nobunaga(Toyota Technical Institute),Katsuya Masuno(Yazaki Corporation),Hiroki Sugiyama(Yazaki Corporation),Makoto Ishii(Yazaki Corporation),Minoru Sasaki(Toyota Technical Institute)

キーワード: 電圧センサ|静電駆動|ＭＥＭＳ振動子|絶縁|Voltage sensor|Electrostatic Driving|MEMS resonator|Isolation

要約(日本語): 鉄道は高電圧を利用しているが、高い絶縁特性を持ち合わせたSi振動子を電圧測定に応用した。外部電界の影響を受けると、共振周波数がシフトすることを原理に用いる。振動子は電気的にはフローティング電極である。420Vの電圧が測定できることを示した。

要約(英語): High voltage is used in the power line for the train. Si resonator is applied for measuring the voltage in a highly isolated manner. The resonant frequency shift being affected by the electrical field is the working principle. The resonator is electrically floated. Feasibility for measuring the voltage up to 420V is demonstrated.

原稿種別: 英語

PDFファイルサイズ: 1,278 Kバイト