Cr-N薄膜ひずみゲージ触覚センサの感度と温度特性評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: TER19006

グループ名: 【D】産業応用部門 交通・電気鉄道研究会

発行日: 2019/02/28

タイトル(英語): Characterization of Sensitivity and Temperature Stability of Tactile Sensor Using Cr-N Thin Film

著者名: 米原 洸平(新潟大学),安部 隆(新潟大学),丹羽 英二(電磁材料研究所),寒川 雅之(新潟大学)

著者名(英語): Kohei Yonehara(Niigata University),Takashi Abe(Niigata University),Eiji Niwa(Research Institute for Electromagnetic Materials),Masayuki Sohgawa(Niigata University)

キーワード: 触覚センサ|Ｃｒ－Ｎ薄膜|高ゲージ率|温度安定性|マイクロカンチレバー|Tactile Sensor|Cr-N Thin Film|High Gauge Factor|Temperature Stability|Microcantilever

要約(日本語): 検知部として一般的な合金ひずみゲージに比べて感度の高いCr-N薄膜を用いたMEMS触覚センサを作製し、その印加荷重に対する感度や温度特性を評価した結果を報告する。

要約(英語): The MEMS Tactile Sensor using Cr-N thin film which has high sensitivity was fabricated and its sensitivity to applied force and temperature stability are characterized.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 990 Kバイト