MEMS触覚センサにおける弾性樹脂中カンチレバー挙動の分析

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: TER20052,MSS20008

グループ名: 【D】産業応用部門 交通・電気鉄道/【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム合同研究会

発行日: 2020/03/02

タイトル(英語): Analysis of Deflection Behavior of Microcantilevers Embedded in Elastomer for MEMS Tactile Sensor

著者名: 木藤 潤(新潟大学),安部 隆(新潟大学),寒川 雅之(新潟大学)

著者名(英語): Jun Kido(Niigata University),Takashi Abe(Niigata University),Masayuki Sohgawa(Niigata University)

キーワード: 触覚センサ|マイクロカンチレバー|有限要素解析|ＰＤＭＳ|Tactile Sensor|Microcantilever|Finite Element Method|PDMS

要約(日本語): ロボットにおける把持制御や触診のデータ化、質感の客観的評価においては、触覚のセンシングが重要である。我々はこれまで、MEMSカンチレバーを弾性樹脂(PDMS)に封止した構造の触覚センサの開発を行ってきたが、荷重印加による樹脂の変形は複雑でありカンチレバーのサイズや配置の最適化が必要である。そこで本研究では、樹脂中に封止されたカンチレバーの挙動を実験と有限要素解析により詳細に分析した。

要約(英語): Tactile sensing is important for gripping control in robotics applications, palpation monitoring, and texture characterization of object. We have developed tactile sensor using MEMS cantilever embedded in the elastomer, however, size and location of cantilevers should be optimized because of complex deformation of the elastomer. In this work, deflection behavior of the cantilever embedded in the elastomer has been analyzed by measurement and FEM in detail.

原稿種別: 日本語

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