酸素イオン撮像用極端紫外望遠鏡に用いる多層膜反射鏡の開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-073

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): The Development of the Multilayer Mirror for the Telescope of Resonantly Scattering Emission by Oxygen Ions

著者名: 田代 真一(中央大学),山崎 敦(通信総合研究所),中村 正人(東京大学),三宅 亙(通信総合研究所),滝沢 慶之(理化学研究所),遠藤 正雄(中央大学)

著者名(英語): Shinichi Tashiro(Chuo University),Atsushi Yamazaki(Communications Research Laboratory),Masato Nakamura(University of Tokyo),Wataru Miyake(Communications Research Laboratory),Yoshiyuki Takizawa(Institute of Physical and Chemical Research),Masao Endo(Chuo U)

キーワード: スパッタリング|多層膜|極端紫外|酸素イオン

要約(日本語): 我々は地球大気上層部からの流出酸素イオンを撮像するためのExtreme ultraviolet観測機器(XUV)の開発を行っている。XUVは酸素イオンの共鳴散乱光(83.4[nm])に対して感度を持つ望遠鏡であり、観測時に混入する水素原子,ヘリウム原子,ヘリウムイオンの散乱光(121.6[nm],30.4[nm],58.4[nm])の除去を目的とした波長選択用の光学素子(吸収フィルタ、多層膜反射鏡等)を持つ。本講演ではRFスパッタリング製膜時の膜の光学定数に基づいたXUV搭載用多層膜反射鏡の設計結果につい

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 177 Kバイト