パルスタウンゼント法による電離係数の測定

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-079

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): Measurement of ionization coefficient by pulsed Townsent experiment

著者名: 山田 雅敏(大同工業大学),山田 忠比古(大同工業大学),近藤 芳孝(大同工業大学)

著者名(英語): Masatoshi Yamada(Daido Institute of Technology),Tadahiko Yamada(Daido Institute of Technology),Yoshitaka Kondou(Daido Institute of Technology)

キーワード: パルスタウンゼント|電離係数

要約(日本語): 電子による気体の衝突電離係数の測定には定常タウンゼント法が用いられている。この方法は信頼性が高いが測定に要する時間は長い。励起分子を含んだ気体のスオームパラメータを測定の目的としているため瞬時に測定を終了する必要がある。このため、数十ナノ秒で測定を行えるパルスタウンゼント法を用いた。今回はＥ／Ｐ[V/cmTorr]を一定にしての電極間隔を変化させて検出波形の変化を考察する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 58 Kバイト