質量分析計を用いた窒素準安定励起分子の検出

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-092

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): Detection of nitrogen metastables by using mass spectrometer

著者名: 松田 悟司(武蔵工業大学),湯本 雅恵(武蔵工業大学),堺 孝夫(武蔵工業大学)

著者名(英語): Satoshi Matsuda(Musashi Insitute of Technology),Motoshige Yumoto(Musashi Insitute of Technology),Takao Sakai(Musashi Insitute of Technology)

キーワード: 準安定励起分子|質量分析計|しきい値イオン化質量分析法|窒素|N2(A)

要約(日本語): 窒素ガスの励起状態N₂(A³Σ_u⁺)は電離係数αを大きくする、あるいは壁や電極から二次電子を放出させるなどの作用が大きいと考えられている。質量分析計はプローブガスの必要がなく,粒子を直接捕捉するため光を放出しにくい活性種の測定や得られた信号から粒子密度を求めることが可能である。そこで、質量分析計を用いて窒素準安定励起種の検出を行う。 N₂(A³Σ_u

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 55 Kバイト