バリア放電のシミュレーション (XIII)-正弦波状パルス電圧印加時の解析-

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-098

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): Simulations of Dielectric Barrier Discharges (XIII)- Analyses of Sinusoid-like Pulse Voltage Waveform -

著者名: 小田 昭紀(北海道大学),菅原 広剛(北海道大学),酒井 洋輔(北海道大学),明石 治朗(防衛大学校)

著者名(英語): Akinori Oda(Hokkaido University),Hirotake Sugawara(Hokkaido University),Yosuke Sakai(Hokkaido University),Haruaki Akashi(National Defense Academy)

キーワード: 誘電体バリア放電|シミュレーション|エキシマランプ|キセノン

要約(日本語): 誘電体バリア放電励起エキシマランプは、光化学プロセス分野での利用が注目される紫外域の短波長・インコヒーレント光源である。筆者らは、本ランプの性能改善を図る上で本プラズマの特性の理解が重要であると考え、これまで１次元流体モデルによる解析を行い、広範囲のガス圧ならびに電源周波数下のプラズマ特性や、本ランプ動作条件（低周波・高ガス圧）のもとで矩形波電圧の振幅、デューティ比、電圧上昇速度を変えた際のエキシマ光出力と効率の影響に関して報告を行ってきた。本報告では、正弦波状パルス電圧印加時の解析を、放電

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 75 Kバイト