イオン照射による窒化炭素（ＣＮｘ）作製における加速電圧の効果

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-104

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): Dependence of accelerating voltage of ion on carbon nitride synthesis

著者名: 小野寺 朋和(武蔵工業大学),湯本 雅恵(武蔵工業大学),堺 孝夫(武蔵工業大学)

著者名(英語): Tomokazu Onodera(Musashi Institute of Technology),Motoshige Yumoto(Musashi Institute of Technology),Takao Sakai(Musashi Institute of Technology)

キーワード: 窒化炭素|加速電圧|運動エネルギー|Ｘ線光電子分光

要約(日本語): 　窒化炭素ＣＮｘはＤＬＣに比べて高硬度、高磨耗抵抗等の特徴があり、工業的利用価値が高い。本研究では、窒素イオンを加速させグラファイト基板に照射してＣＮｘ膜を作製した。その際、イオンが固体に照射されるとき、イオンの運動エネルギーによって固体との相互作用が異なる。そこで、照射されるイオンの運動エネルギーによって試料表面の結合状態が変化する様子をＸＰＳにより分析し、加速電圧に対する結合状態の変化を検討した。その結果、加速電圧が１００ＶのときにＣ?Ｎのｓｐ^３結合が多くなっていることが示された

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 54 Kバイト