レーザアブレーションカーボンプルームの電流波形

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-107

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): Current Waveform of Carbon Plume by Pulsed Laser Ablation

著者名: 須田 善行(北海道大学),西村 卓真(北海道大学),水野 学(北海道大学),小野 智之(北海道大学),酒井 洋輔(北海道大学)

著者名(英語): Yoshiyuki Suda(Hokkaido University),Takuma Nishimura(Hokkaido University),manabu Mizuno(Hokkaido University),Tomoyuki Ono(Hokkaido University),Yosuke Sakai(Hokkaido University)

キーワード: レーザアブレーション|グラファイトターゲット|電流波形|バイアス電圧

要約(日本語): レーザアブレーションによりターゲット表面から爆発的に発生するプルームは原子・電子・正イオン・クラスターなど電荷や質量の異なったものから構成され、その輸送現象は複雑である。筆者らの研究室ではArFエキシマレーザを用いて、希ガス雰囲気でのレーザアブレーションによる炭素薄膜ならびに微粒子堆積を行っており、雰囲気ガス圧ならびにレーザエネルギーにより発生プルームおよび堆積膜質が変化することを確認している。本報告ではイオン・電子などの荷電粒子による電流波形よりプルームの特性を考察する。電極間にバイアス電圧を印加したと

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 54 Kバイト