高周波電源によるNOxガスの放電分光特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-150

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): Effect of High Frequency Power Supply on the Characteristics of NOx Gas Discharge Emission Spectrum

著者名: 成田 裕順(東海大学),岡部 昭三(東海大学)

著者名(英語): Yasuyuki Narita(Tokai University),Shozo Okabe(Tokai University)

キーワード: NOxガス|放電発光スペクトル|高周波

要約(日本語): 　著者らはこれまでノンフロー状態での実験結果から化学反応式を推定し、反応速度論によるシミュレーションを行ない、NO₂ガスの放電分解過程を検討してきた。また、フロー状態でも同様の反応が起きていることを報告してきた。　今回は電源周波数を変えた場合のNO₂ガスフロー時の放電発光スペクトルを測定している。その結果、50kHzでは青、紫の波長域に、また13.56MHzでは紫から紫外線域にかけて、窒素のスペクトルが強く現れ、窒素が放電反応に大きく寄与しており、周波数が高い

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 64 Kバイト