放電による水電極型オゾン水生成システムの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-168

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): Development of Ozonized Water Generator Using Water Electrode by Discharge

著者名: 田島 涼(武蔵工業大学),江原由泰 (武蔵工業大学),岸田 治夫(武蔵工業大学),伊藤泰郎 (武蔵工業大学)

著者名(英語): Ryo Tajima(Musashi Institute of Technology),Yoshiyasu Ehara(Musashi Institute of Technology),Haruo Kishida(Musashi Institute of Technology),Tairo Ito(Musashi Institute of Technology)

キーワード: オゾン水|溶存オゾン濃度|コロナ放電

要約(日本語): 近年、オゾン含有水は半導体デバイスの製造や精密機械部品の洗浄など幅広い分野に用いられるようになり、高濃度かつ高効率なオゾン水の生成法が求められている。オゾン水は現在、無声放電方式のオゾナイザを用い、発生させたオゾンを反応槽中で接触させて生成されている。本研究ではコロナ放電を利用したオゾナイザを用いており、下部電極上に水を流通させている。したがって、反応槽を用いることなく、放電空間で直接オゾン水を生成するシステムである。本実験システムを用いてオゾン水生成を行った結果、放電電力6.5Wで溶存オゾン濃度0.15

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 64 Kバイト