２種類の固体誘電体を用いた表面波放電プラズマパラメータのマイクロ波電力依存性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-235

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): Dependence of Surface Wave Plasma Parameters with Two Solid Dielectrics on Microwave Power

著者名: 北村 真一(東京理科大学),原 弘之(東京理科大学),小越 澄雄(東京理科大学)

著者名(英語): Shinnichi Kitamura(Science University of Tokyo),Hiroyuki Hara(Science University of Tokyo),Sumio Kogoshi(Science University of Tokyo)

キーワード: 表面波プラズマ|プラズマ密度|マイクロ波

要約(日本語): 前回の講演では、石英とテフロンを用いた場合の表面波放電プラズマの測定結果について報告した。今回、構造をより簡単化することが可能なパイレックスガラスと石英を用いた場合の表面波放電プラズマの特性をラングミュアプローブにより測定した。その結果、今回の組み合わせでも、前回同様の良好なプラズマが生成できることが分かった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 59 Kバイト