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酸素-窒素混合ガスプラズマ中における白金の赤熱現象に対する白金形状の影響

酸素-窒素混合ガスプラズマ中における白金の赤熱現象に対する白金形状の影響

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カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-237

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): The effect of platinum shape for the red heat phenomenon of the platinum in the oxygen nitrogen mixed gas plasma

著者名: 中野 宰延州(武蔵工業大学),上村 健(武蔵工業大学),高山 史奈子(武蔵工業大学),小野 茂(武蔵工業大学),堤井信力 (武蔵工業大学)

著者名(英語): Saiensu Nakano(Musashi Institute of Technology),Ken Kamimura(Musashi Institute of Technology),Shinako Takayama(Musashi Institute of Technology),Shigeru Ono(Musashi Institute of Technology),Shinriki Teii(Musashi Institute of Technology)

キーワード: 白金|直流グロー|酸素|窒素|赤熱化反応

要約(日本語): 酸素?窒素混合ガスプラズマ中に白金製プローブを挿入した際プローブ先端が温度上昇を示し、赤熱化するという現象をおこした。この現象はプラズマ中で解離生成された酸素原子の白金線表面での再結合により放出された結合エネルギーによりおおむね説明された。そこで本稿では、その応用として酸素原子密度センサーを考えた。実際、センサーとして利用するためには、より細かい温度変化を必要とし、そのため白金線の形状を変化させることでセンサーとしての感度に対する形状の影響を調べた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 72 Kバイト

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