Si粒子を注入した高周波誘導Ar熱プラズマの分光観測

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-250

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): Spectroscopic Observation of Si Powder Injected Induction Plasma

著者名: 今堀 友和(金沢大学),稲村 陽子(金沢大学),王淳 (金沢大学),田中 康規(金沢大学),作田 忠裕(金沢大学)

著者名(英語): Tomokazu Imahori(Kanazawa University),Youko Inamura(Kanazawa University),Chun Wang(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Tadahiro Sakuta(Kanazawa University)

キーワード: 高周波誘導プラズマ|分光観測|シリコン|クラスター

要約(日本語): クラスターとは、原子や分子などの粒子が数個から数千個集まった集合体であり、固体、液体などの凝集相と、原子、分子の孤立相の中間に位置している。そのためバルク状固体とは異なる性質を持ち、新機能性素材として期待されている。そこで本研究では、プロセス用プラズマとして優れた特徴を有する高周波誘導プラズマを用いて、プラズマ内に注入したSi粒子から安定なナノマテリアルを生成することを目的とした。本稿では基礎段階として、各種プラズマ条件下で安定点弧した高周波誘導プラズマにSi粒子を注入して分光観測を行い、放射スペクトル分布、径方向スペクトル分布を測定し、熱プラズマの温度を評価したので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 92 Kバイト