半導体インバータ電源を用いた高周波誘導熱プラズマの点火特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-254

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): Ignition of radio frequency thermal plasma with inverter power supply

著者名: 安達 丈泰(名古屋大学),大森雄造 (名古屋大学),今井 貴博(名古屋大学),西島 大輔(名古屋大学),上杉 喜彦(名古屋大学),高村 秀一(名古屋大学)

著者名(英語): Takehiro Adachi(Nagoya University),Yuzou Omiri(Nagoya University),Takahiro Imai(Nagoya University),Daisuke Nishijima(Nagoya University),Yoshihiko Uesugi(Nagoya University),Syuichi Takamura(Nagoya University)

要約(日本語): 高周波誘導熱プラズマは、現在、材料プロセシングや廃棄物処理などの産業分野で広く用いられている。RF熱プラズマの特徴は、DCアーク放電に比べて径の大きな(5～7cm)プラズマを生成可能であること、また、無電極のために不純物の混入がないなど、材料プロセスに有効である。本稿では、半導体インバータ電源により高周波を供給し、高周波誘導熱プラズマの生成を行う。計測には、分光計測法を用い、高周波印加に伴った温度、密度の評価をし、点火特性の検討を行う。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 71 Kバイト