大気圧窒素プラズマジェットの分光観測

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-255

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): The spectroscopic observation of the atmospheric pressure nitrogen plasma jet

著者名: 伊保橋 邦男(武蔵工業大学),堀部 隆徳(武蔵工業大学),鈴木 大介(武蔵工業大学),小野 茂(武蔵工業大学),堤井信力 (武蔵工業大学)

著者名(英語): Kunio Ibohashi(Musashi Institute of Technology),Takanori Horibe(Musashi Institute of Technology),Daisuke Suzuki(Musashi Institute of Technology),Shigeru Ono(Musashi Institute of Technology),Shinriki Teii(Musashi Institute of Technology)

キーワード: プラズマジェット|窒素|振動温度

要約(日本語): 　アーク放電をガス流と器壁で強制集束することによって容易に得られる高温・高速・高活性な熱プラズマ流であるプラズマジェットは新素材開発、高融点材料処理、高速薄膜などの材料プロセス用のプラズマ源として注目されている。本研究では大気圧下における窒素プラズマジェットについて分光観測を中心に実験を行った。特に窒素分子の回転、振動励起に対する知見を得ることで実験を行った。窒素分子の回転温度は約9000K、振動温度は約8500Kという値が求められ、ほぼ熱平衡状態であるということが確認された。振動温度は窒素分子の解離過程に大きく影響する点で重要である。これらの実験とあわせて高速駆動装置を用いたトリプルプローブによるアークプラズマの直接測定も行ったのであわせて報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 71 Kバイト