傾斜機能材料のエキシマレーザ加工時におけるアブレーションプラズマによるレーザ吸収特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-260

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): Characteristics of Absorption in Ablation Plasma from Functionally Graded Materials Produced by Excimer Laser

著者名: 内田 敬久(愛知工業大学),山田 諄(愛知工業大学),内田 悦行(愛知工業大学)

著者名(英語): Yoshihisa Uchida(Aichi Institute of Technology),Jun Yamada(Aichi Institute of Technology),Yoshiyuki Uchida(Aichi Institute of Technology)

キーワード: 傾斜機能材料|エキシマレーザ|レーザ加工|アブレーション|吸収係数

要約(日本語): 厚手の傾斜機能材料は，産業応用部門で広く利用が期待される新進材料であるが，組成が連続的に傾斜している焼結材であるため二次加工が一般に困難である。そこで紫外線高出力パルスエキシマレーザを用いる。加工精度に影響するアブレーションプラズマの解明を試みている。今までに，プラズマの光強度分布や電子密度分布および電子温度分布を計測してきた。今回，プラズマによるレーザ光の吸収特性の測定を行った。試料として用いた傾斜機能材料は，酸化第二鉄と朝鮮カオリンを原材料として混合還元焼成して作製した。プラズマによるレーザ光の吸収は，レーザの照射開始後数nsから始まり約20ns後にほぼ100%吸収される特性を示した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 64 Kバイト