レーザアブレーション法によるシリコンボライドの成膜-プルム発光状態の観測 -

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-262

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): Synthesis Techniqe of Silicon borides Films by Laser Ablation Method- Observation of Luminous condition of Plumes -

著者名: 伊藤 正彦(日本大学),野村 慎(日本大学),鈴木 薫(日本大学),中田 順治(日本大学)

著者名(英語): Itoh Masahiko(college of Sience and Technorogy Nihion university),nomura Makoto(college of Sience and Technorogy Nihion university),Suzuki Kaoru(college of Sience and Technorogy Nihion university),Nakata Junji(college of Sience and Technorogy Nihion university)

キーワード: レーザアブレーション法|シリコンボライド|プルム

要約(日本語): 熱電材料は、排熱利用による熱電発電や熱センサとしての利用など、今後多岐にわたる利用が期待されている材料で、その種類によって性能のピークをもつ温度領域が決まっている。我々は５００～１０００℃の中高温域でその性能をよく発揮するホウ素過剰シリコンボライド（以下シリコンボライド）について研究を行っている。シリコンボライドにはSiB4、SiB6などの複数の種類があり性能も違うが、シリコンとボロンの混合比や熱処理温度などの生成条件は未だ曖昧であるため様々な事象での観測が必要である。今回我々はシリコン・ボロンのアブレーションプルム状態をハイスピードカメラで撮影、観測し又ぷるむの発光スペクトルを測定したので、その結果を報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 57 Kバイト