レーザＰＶＤ法によるダイヤモンド状炭素成膜-水素プラズマによるエッチング効果-

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-263

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): Synthesis Technique of Diamond-like Carbon Films by Laser PVD Method-Etching Effect by Hydorogen Plasmas-

著者名: 相馬千里 (日本大学),鈴木薫 (日本大学),中田順治 (日本大学)

著者名(英語): センリ (Nihon University),カオル (Nihon University),ジュンジ (Nihon University)

キーワード: レーザＰＶＤ|水素プラズマ|エッチング

要約(日本語): ダイヤモンド薄膜、ダイヤモンド状炭素薄膜はエレクトロニクス部品の材料として注目されその薄膜の人工合成の研究が進んでいる。著者等は炭素板へのYAGレーザ照射時に発生するアブレーションプルムをイオン源として、低真空下でのダイヤモンド状炭素成膜をめざし、長パルス幅のレーザ光を垂直照射する方法を検討している。本稿では、RF放電による水素プラズマを併用したエッチングの効果について報告する。

原稿種別: 日本語

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