プラズマソースパルスイオン注入法によるＤＬＣ成膜-水素混入時におけるＤＬＣ膜の物性評価-

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-264

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): Synthesis Technique of Diamond-Like Carbon Films by Plasma Source Pulse Ion Implantation-Characteristic of DLC Films at Hydrogen Mixing-

著者名: 吉田 仁紀(日本大学),中森 秀樹(ナノテック),鈴木 薫(日本大学),中田 順治(日本大学)

著者名(英語): Yoshinori Yoshida(Graduate School of Nihon University),Hideki Nakamori(Nanotec Corporation),Kaoru Suzuki(Nihon University),Junji Nakata(Nihon University)

キーワード: ダイアモンド状炭素|PSII|イオン注入|プラズマ

要約(日本語): ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）膜は超硬度、低摩擦係数、耐摩耗性、耐食性、凝着性などの特徴から電子部品、磁気記録媒体、切削工具、刃物、金型への成膜など幅広い分野にわたって実用されている。プラズマソースパルスイオン注入（ＰＳPＩＩ）法の特徴としては３次元立体物に成膜ができ、イオンが材料に対し垂直に入射するのでスパッタ問題が軽減され、成膜時間が早く、同時に多数個に成膜できるなどが挙げられるため、従来のＰＶＤ法、ＣＶＤ法の欠点を補うことができる。今回は成膜時に水素を混入させ、そのときの膜の特性をラマン分光法、ＦＴ?ＩＲなどにより検討した結果について報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 61 Kバイト