横出し型イオン衝撃二次電子銃の研究

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-284

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): Side-Extraction-Type Secondary-Emission Electron Gun Using Wire Ion Plasma Source

著者名: 石川雅規 (東京工業大学),プリヤ ラズチャリセ(東京工業大学),渡邊正人 (東京工業大学),沖野晃俊 (東京工業大学),堀田栄喜 (東京工業大学)

著者名(英語): マサキ (Tokyo Institute of Technology),チャリセ (Tokyo Institute of Technology),マサト (Tokyo Institute of Technology),アキトシ (Tokyo Institute of Technology),エイキ (Tokyo Institute of Technology)

キーワード: イオン源|ワイヤ・イオン・プラズマ源|電子ビーム|ガス処理

要約(日本語): ガス処理装置への応用を目的とした電子銃を製作した。本装置はワイヤ・イオン・プラズマ源で生成されたイオンの陰極との衝突による二次電子を、プラズマ源に対し横方向に引き出す横出し型イオン衝撃二次電子銃である。この電子銃は加速陰極が斜めに設置されており、イオンが陰極に垂直入射する電子銃より二次電子放出係数が増加する。また、ビームを横方向に引き出すためプラズマと電子ビームが相互作用しない利点がある。本研究では、陰極角度の変化による電子電流値と電子ビーム軌道の変化をシミュレーションおよび実験から求めた。また、電子銃上部に設置したガス処理室の中央に電子ビームを導入する陰極位置を決定し、処理室内の電子ビーム電流値および分布を測定した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 81 Kバイト