LIPP法による高再現性空間電荷測定装置の開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-017

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): Development of Space Charge Measurement Equipment for High Reappearance by LIPP Method

著者名: 武藤哲 (武蔵工業大学),田中康寛 (武蔵工業大学),高田達雄 (武蔵工業大学),前野恭 (郵政省通信総合研究所)

著者名(英語): サトシ (Musashi Institute of Technology),ヤスヒロ (Musashi Institute of Technology),タツオ (Musashi Institute of Technology),タカシ (Communications Research Laboratory)

キーワード: 空間電荷|レーザー誘起圧力パルス法|パルス静電応力法|デコンボリューション

要約(日本語): 　LIPP法は他の測定法と比較して位置分解能が優れるという特徴があるが、レーザー装置からの誘導ノイズが大きいことや測定結果の再現性が良くないといった問題がある。そこで我々はノイズ遮断シールド技術とデコンボリューションなどの信号処理技術をLIPP法に適用し、板状のアルミ電極とグラファイトをターゲットに用いることでLIPP法の利点である高分解能を維持しつつ、操作性、再現性に優れた高分解能空間電荷分布測定装置を開発した。 本装置を用いることで、これまで測定できなかった薄い絶縁体や、絶縁体内の局所的な電荷の挙動を測定することが可能となった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 66 Kバイト