LIPP法による薄物試料中の空間電荷測定に関する検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-018

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): Measurement of Space Charge in Thin Sample by LIPP Method

著者名: 酒井 俊哉(名古屋大学),鈴置 保雄(名古屋大学)

著者名(英語): Toshiya Sakai(Nagoya University),Yasuo Suzuoki(Nagoya University)

キーワード: 空間電荷|レーザ誘起圧力波法|薄物試料

要約(日本語): 我々の研究室では今まで、金属ターゲットを蒸着した薄物試料の空間電荷測定をLIPP法で行ってきた。ターゲットはレーザ出力に耐え得る厚さが必要であり、蒸着に多くの時間を要する。レーザに耐え得る金属板ターゲットによる測定を、薄物試料に適用できれば試料準備が容易になる。厚さ1mmZn板を用いた30μmPPについて分解能の悪い結果が得られた。金属板内での圧力波分散が原因だと考えられる。また、従来の蒸着ターゲットでの測定でも、正しい電荷分布を得られない場合がある。今回の蒸着ターゲットによる測定ではバルク中に振動波形が観測された。照射レーザがターゲット到達前に接地金属部分に当たることが原因だと予想される。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 68 Kバイト