LaCrO3を用いた小型高温薄膜発熱体の作製

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-142

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): Production of small high-temperature heaters with LaCrO₃

著者名: 林 慎一郎(同志社大学),吉門進三 (同志社大学)

著者名(英語): Shinichirou Hayashi(Doshisha University),Shinnzou Yoshikado(Doshisha University)

キーワード: 抵抗発熱体|RFマグネトロンスパッタリング|ランタンクロマイト

要約(日本語): ランタンクロマイト(LaCrO₃)はペロブスカイト型構造の複酸化物で、Caなどのアルカリ土類金属を置換固溶させることにより、高い導電性を示す。我々はＲＦマグネトロンスパッタリング法を用いてLaCrO₃を薄膜化し，小型高温発熱体の作製を行った。今回基板として，単結晶Si(100)，発熱時の基板劣化の影響を防ぐためSiを酸化し絶縁膜であるSiO₂を形成したもの，また石英ガラスを用いた。電極はLaCrO₃とオーミック性がよい白金を使用した。スパッタ時の放電ガスがArのみの時と、ArとO2の混合ガスの時のいずれにおいても最高発熱温度1000℃以上に達した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 253 Kバイト