異方性制御された微細薄膜の高周波磁気特性に対する膜厚の影響

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-190

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): Effect of film thickness on high frequency characteristic of micro-patterned magnetic film

著者名: 末沢 健吉(東北大学),山口 正洋(東北大学),荒井賢 一(東北大学),島田 寛(東北大学),田邉 信二(三菱電機),伊東 健治(三菱電機)

著者名(英語): Kenkichi Suezawa(Tohoku University),Masahiro Yamaguchi(Tohoku University),Ken ichi Arai (Tohoku University),Yutaka Shimada(Tohoku University),Shinji Tanabe(Mitsubishi Electric Corporation),Kenji Itou(Mitsubishi Electric Corporation)

キーワード: 磁気異方性|形状異方性|単磁区構造

要約(日本語): 　携帯電話において0.8～1.9GHｚ帯で使用されている正方形スパイラル型薄膜コイルに磁性薄膜を適用することでコイルの小形化を検討してきた。我々はこれまで0.1μm厚のCo系アモルファス膜に微細加工を施し形状異方性を誘導することで磁性膜の磁気異方性の強さ，方向共に制御し1GHｚでの共鳴損失を低減すると同時にコイル四辺において励磁方向と磁化困難軸方向を一致させ磁性膜を100％使用できることを示してきた。単位面積当たりのインダクタンスをさらに増大させる試みとして渦電流損失が問題にならない範囲でより膜厚を厚くし磁束量を増やすことが挙げられる。そこでここではより厚膜化した際の磁気異方性の制御について検討を行った。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 143 Kバイト