金拡散シリコンPINダイオード光検出器の開発と評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-014

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): Preparation and Evaluation of Gold Diffusion PIN Diode Photo Detector.

著者名: 伊藤邦朗 (同志社大学),藤村 憲司(同志社大学),吉門進三 (同志社大学)

著者名(英語): Ito Kuniaki(Doshisha University),Fujimura Kenji(Doshisha University),Yoshikado Shinzo(Doshisha University)

キーワード: 光検出器|金拡散|フォトダイオード

要約(日本語): 通常のシリコンフォトダイオードはPN接合もしくは，PIN接合をさせて作られているが，これに変えて，金を拡散させることによって補償領域を作り出し，その巨大な補償領域をI層とするシリコンPINダイオード光検出器を作製した．その時，I層に直接光を入射する事ができる受光面を拡大することにより，光によって生成された電子正孔対を効率よく集め，感度を増大させる事ができた．このとき，数V程度の小さな印加電圧によっても比較的大きな出力信号を得ることが出来た．またI層が大きいので，広い波長範囲での検出感度が見込める．実際，紫外線から赤外線までの広い範囲での検出感度を得ることができた．X線については当日に報告する．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 199 Kバイト