圧電変換デバイスの評価技術-空間電荷弾性効果の応用-

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-015

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): The Characteristic of Piezo-Electric Transducer Device - Application of Space Charge Acoustic Effect

著者名: 田中 潤一(芝浦工業大学),金子 誠司(芝浦工業大学),浜崎 高志(芝浦工業大学)

著者名(英語): Tanaka Junichi(Shibaura-Institute of Technology),Kaneko Seiji(Shibaura-Institute of Technology),Hamasaki Takashi(Shibaura-Institute of Technology)

キーワード: 弾性波|圧電変換

要約(日本語): 半導体の試料に電子線を照射すると、そのエネルギーによって、電子?正孔対が生成される。この電子?正孔対は、過剰キャリアとして拡散し、ＰＮ接合における空間電荷層の電界強度を変化させる。ＰＮ接合の空間電荷層は一種の誘電体物質のような作用をするため、電界によってその内部に応力を生じ、断続電子線による電界強度の変化に伴い弾性波が生じる。これを空間電荷弾性効果と称する。 当研究では、等価な空間電荷弾性効果を発生させて応用する。ＰＮ接合に逆バイアス印加により、弾性波(Acoustic)を発生させ、その弾性波で圧電変換デバイスの評価を行った。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 60 Kバイト