集積化半導体ガスセンサによるＶＯＣの測定

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-137

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): Study on An Integrated Semiconductor Gas Sensor for Detection of VOC

著者名: 角崎 雅博(富山県工業技術センタ-),藤城敏史 (富山県工業技術センタ-),谷野 克巳(富山県工業技術センタ-),石川 勝己(コ-セル),小森 一哉(北陸電気工業),龍山 智榮(富山大学)

著者名(英語): Masahiro Kadosaki(Toyama Industrial Technology Center),Satoshi Fujiki(Toyama Industrial Technology Center),Katsumi Tanino(Toyama Industrial Technology Center),Katsumi Ishikawa(Cosel Co.,Ltd.),Kazuya Komori(Hokuriku Electric Industry Co.,Ltd.),Chiei Tatsuyama(Toyama University)

キーワード: 酸化物半導体|ホルムアルデヒド|VOC|室内空気汚染|集積化ガスセンサ|厚膜

要約(日本語): 近年、「シックハウス症候群」或いは「化学物質過敏症」とも云われ、住宅の内装材や接着剤等からでるVOCが原因で身体の不調を訴える人が増え、社会問題化している。そこで、我々はこれまで、新築住宅の室内汚染度を測定するための酸化物半導体ガスセンサの材料や、高感度化のための添加物について報告してきた。本報告では、上記の６種類の材料を用いた、厚膜型集積化ガスセンサを試作し、主にレ?ダチャ?トを用いて多数のVOCに対してガス種判定のためのベ?スにするためにガス感度による評価を行った結果を報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 73 Kバイト