小型水晶振動子センサアレイを用いたクリーンルーム内の匂い・ガス流可視化に関する研究

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-141

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): Study of gas/odor flow visualization in clean room using array of miniaturized QCM gas sensors

著者名: 徳弘崇文 (東京工業大学),中本 高道(東京工業大学),森泉 豊榮(東京工業大学)

著者名(英語): Takafumi Tokuhiro(Tokyo Institute of Technology),Takamichi Nakamoto(Tokyo Institute of Technology),Toyosaka Moriizumi(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: 小型水晶振動子ガスセンサ|センサアレイ|流れの可視化|匂い・ガス源探知|匂い・ガス流方向推定

要約(日本語): 　クリーンルーム内に散布したトリエチルアミンガスの流れを、匂い・ガス流可視化システムによって可視化することに成功した。このシステムは、同種の小型水晶振動子ガスセンサを５×５個並べたアレイを用い、このアレイ上を通過するガス濃度の瞬間分布を動画像として可視化する。前報では、風洞内において3cm/sec程度の微少なガス流を可視化することに成功したが、本発表では締め切ったクリーンルームにおいてガス流の可視化実験を行なった結果を報告する。風洞内より風速の変動係数が大きく、またガス源までの距離が遠い環境においても、ガスの流れを可視化し、方向推定できることを確認した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 71 Kバイト