150MHz帯水晶振動子を用いた匂いセンサの基礎的研究

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-143

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): Fundamental Study of Odor Sensing System using 150MHz Quartz Crystal Microbalance

著者名: 後藤洋子 (東京工業大学),中本 高道(東京工業大学),森泉 豊栄(東京工業大学)

著者名(英語): Yohko Gotoh(Tokyo Institute of Technology),takamichi nakamoto(Tokyo Institute of Technology),toyosaka moriizumi(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: 匂いセンサ|VHF水晶振動子|感度|QCM

要約(日本語): 我々は水晶振動子ガスセンサアレイを用いた匂いセンシングシステムを研究してきた。これまでは、一般的な20MHzの共振周波数の振動子を用いてきたが、さらに高周波の振動子を用いることで感度の向上が期待できる。近年、振動子電極下の水晶をエッチングで薄くする技術により、V/UHF帯振動子を製作することが可能になり、本研究では150MHz振動子を匂いセンサに応用した。20MHz振動子と150MHz振動子の感度の比較を行い、150MHz振動子を用いた方が同濃度で7.5倍程度の応答が得られることを確認した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 105 Kバイト