プラズマ重合膜を用いた水晶振動子式ガスセンサのガス検知特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-147

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): Gas Sensing Characteristics of Quartz Resonator Gas Sensor with Plasma-Polymerized Film

著者名: 横井 康平(金沢工業大学),向井 達哉(金沢工業大学),中田尚将 (金沢工業大学),黒澤茂 (工業技術院物質工学工業技術研究所),草野 英二(金沢工業大学),大藪多可志 (金沢経済大学),金原 粲(金沢工業大学),南戸 秀仁(金沢工業大学)

著者名(英語): Yashuhira Yokoi(Kanazawa Institute of Tech.),Tatsuya Mukai(Kanazawa Institute of Tech.),Naomasa Nakada(Kanazawa Institute of Tech.),Kurosawa (Ultrathin Film Group,Department of Polymer Physics),Eiji Kusano(Kanazawa Institute of Tech.),Takashi Oyabu(Kanazawa University of Economics),Akira Kinbara(Ka),Hidehito Nanto(Ka)

キーワード: 水晶振動子|ガスセンサ|プラズマ重合膜|アンモニア

要約(日本語): プラズマ重合法は材料の表面改質に用いられるプロセスとして注目されている。今回、プラズマ重合法を用いて、分子認識膜を水晶振動子の表面に作製した水晶振動子式ガスセンサを設計した。そして、水晶振動子式ガスセンサのガス検知特性から、アクリル酸プラズマ重合膜を形成した水晶振動子式ガスセンサがアンモニアガスに対し、優れた選択性と高い感度を示すことを見出した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 71 Kバイト