一元電子ビーム蒸着法を用いたクロム酸鉛結晶薄膜の成長

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-152

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): Crystalline Thin Films Preparation of Lead Chromate Oxide by Electron Beam Deposition

著者名: 安藤 信彦(関東学院大学),菅 禎彦(関東学院大学),赤川 英幸(関東学院大学),大津 稔(関東学院大学),平松 友康(関東学院大学),金子 文隆(湘南工科大学),難波 典之(関東学院大学)

著者名(英語): Nobuhiko Andou(Kanto-gakuin University),Yoshihiko Suga(Kanto-gakuin University),Hideyuki Akagawa(Kanto-gakuin University),Minoru Ootu(Kanto-gakuin University),Tomoyasu Hiramatu(Kanto-gakuin University),Fumitaka Kaneko(Shonan Institute of Technology),Noriyuki Nanba(Kanto-gakuin University)

キーワード: 一元電子ビーム蒸着法|クロム酸鉛|薄膜|湿度センサ

要約(日本語): クロム酸鉛を湿度センサとして応用するために、厚膜、バルクを用いたもの、RFマグネトロンスパッタリング法を用いて作製された薄膜について報告した。本研究ではクロム酸鉛を湿度センサとして応用する際のIC化を考え、一元電子ビーム蒸着法による薄膜結晶化を目的とした。その結果、ソースの混合比が結晶成長に関連しており、PbOの割合により薄膜の混合比制御が可能な事が示されたので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 53 Kバイト