多元電子ビーム蒸着法を用いたクロム酸鉛結晶薄膜の成長

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-153

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): Epitaxy of Lead Chromate Oxide by Multi-Source Electron Beam Deposition

著者名: 赤川 英幸(関東学院大学),菅 禎彦(関東学院大学),安藤 信彦(関東学院大学),大津 稔(関東学院大学),平松 友康(関東学院大学),金子 文隆(湘南工科大学),難波 典之(関東学院大学)

著者名(英語): Hideyuki Akagawa(Kanto-gakuin University),Yoshihiko Suga(Kanto-gakuin University),Nobuhiko Andou(Kanto-gakuin University),Minoru Ootu(Kanto-gakuin University),Tomoyasu Hiramatu(Kanto-gakuin University),Fumitaka Kaneko(Shonan Institute of Technology),Noriyuki Nanba(Kanto-gakuin University)

キーワード: クロム酸鉛|薄膜|湿度センサ|多元電子ビーム

要約(日本語): クロム酸鉛の結晶薄膜化について、電子ビームによる多元蒸着法を用いた研究はまだ報告されていない。そこで、本研究では同方法を用い蒸着パラメータをさまざま変化させる事によりそれらがクロム酸鉛の組成、結晶性にどのような影響を与えるかを調べた結果を報告している。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 53 Kバイト