ガラス基板上Ti/Pt電極の劣化とその防止

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-154

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): Prevention of Degradation in Ti/Pt Electrode on Glass

著者名: 鈴木 良孝(横河電機),渡辺 哲也(横河電機),鈴木 広志(横河電機),加藤暁之 (横河電機)

著者名(英語): Yoshitaka Suzuki(Yokogawa Electric Corporation),Tetsuya Watanabe(Yokogawa Electric Corporation),hiroshi Suzuki(Yokogawa Electric Corporation),Satoshi Kato(Yokogawa Electric Corporation)

キーワード: Ti/Pt|劣化|剥離試験|陽極接合

要約(日本語): 金属薄膜電極が形成されたホウケイ酸ガラスとシリコンの陽極接合を行う場合、高温と強電界のために、金属薄膜電極に不良が生じやすい。Ti/Pt等の耐熱性金属であっても、膜厚や成膜条件によって剥離等の不良が発生する。本論文では、ガラス基板上のTi/Pt電極について、電極の密着強度に与える膜厚及び成膜条件の影響を調査した結果を報告する。また、密着強度低下の原因について考察する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 68 Kバイト