一様曲げモーメントをもつ静電駆動微細はりのヒステリシス特性解析

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-159

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): A hysteresis movement analysis of micro-cantilever with constant bending moment driven by electro-static force

著者名: 小口 寿明(東京工業大学),早瀬 仁則(東京工業大学),初澤毅 (東京工業大学)

著者名(英語): Toshiaki Oguchi(Tokyo Institute of Technology),Masanori Hayase(Tokyo Institute of Technology),Takeshi Hatsuzawa(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: 微細はり|変形モード|モード境界|モード遷移過程|モード境界線図|ヒステリシス動作

要約(日本語): 一様曲げモーメントをもつ静電駆動微細片もちはりは、基板電極との接触、引き離し駆動時の特徴的なはり形状やヒステリシス駆動などを用いた付加的機能が期待される。 今回、このようなはりの変形曲線とヒステリシス動作特性を明らかにするため、有限差分法、ニュートン法、二分法を用いて解析を行い、はりの形状依存的なヒステリシス特性とその存在範囲、はりと基板電極との接触状態によって類型される変形モードの領域区分、変形モードの遷移過程、印加電圧に対するはりの変形曲線を明らかにした。 解析の有用性を検証するために、酸化シリコン膜を用いてはり試料を作製し、静電駆動時のはりの変形曲線を測定した。その結果、理論値との定性的な一致が確認された。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 69 Kバイト