LIGAライクプロセスによるマイクロアクチュエータの試作

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-160

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): Fabrication of Microactuator using LIGA like Process

著者名: 安井学 (神奈川県産業技術総合研究所),平林康男 (神奈川県産業技術総合研究所),小林賢 (神奈川県産業技術総合研究所),岩城康彦 (山王),塚原久雄 (山王)

著者名(英語): マナブ (Kanagawa Industrial Technology Research Institute),ヤスオ (Kanagawa Industrial Technology Research Institute),ケン (Kanagawa Industrial Technology Research Institute),ヤスヒコ (Sanno Co.,Ltd),ヒサオ (Sanno Co.,Ltd)

キーワード: 電鋳|LIGAライクプロセス|厚膜レジスト

要約(日本語): マイクロマシニング技術の１例として，厚膜レジストを用いた電鋳によりマイクロアクチュエータ・センサを作製するLIGAライクプロセス1)がある。今回，LIGAライクプロセスを用いて２方向動作静電アクチュエータの試作し，最小線幅1.3μm，高さ18.5μm，アスペクト比14を得た．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 278 Kバイト