静電インパクト機構を用いたマイクロアクチュエータ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-161

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): Electrostatic Impact Mechanism for Micro Actuator

著者名: 天坂 祥一(東京電機大学),三田 信(東京大学),小林 大(東京電機大学),藤田 博之(東京大学)

著者名(英語): Shoichi Tensaka(Tokyo Denki University),Makoto Mita(IIS.,University of Tokyo),Dai Kobayashi(Tokyo Denki University),Hiroyuki Fujita(IIS.,University of Tokyo)

要約(日本語): 近年、精密位置決め技術はきわめて重要な技術として位置付けられており、より高精度な位置決め搬送システムが必要になってきている。しかし、従来のアクチュエータは発生力が小さい、駆動距離が短いなどの問題点があった。そこで我々は、インパクト機構を用いることによって駆動される新しいアクチュエータをシリコン深堀り技術と陽極接合を組み合わせて作製した。今回作製したアクチュエータは静電引力のみではなく慣性力も利用し今まで困難であった高出力、長距離駆動を実現できると期待できる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 399 Kバイト