新しい静電リニアーアクチュエータの作製

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-162

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): Fabrication of New Electrostatic Linear Actuator

著者名: 熊谷 道広(大阪府立大学),近藤 和也(大阪府立大学),松永 崇(大阪府立大学),川田 博昭(大阪府立大学),安田 雅昭(大阪府立大学),村田 顕二(大阪府立大学)

著者名(英語): Michihiro Kumagai(Osaka Prefecture University),Kazuya Kondou(Osaka Prefecture University),Takashi Matsunaga(Osaka Prefecture University),Hiroaki Kawata(Osaka Prefecture University),Masaaki Yasuda(Osaka Prefecture University),Kenji Murata(Osaka Prefecture University)

キーワード: 表面マイクロマシン|リニアーアクチュエーター|静電駆動|ニッケルメッキ

要約(日本語): 一次元方向に数百μm程度動くマイクロアクチュエータの作製は容易ではない．本報告では一次元方向に500μm動く新しい静電アクチュエータを提案する．このアクチュエータは可動範囲が長く，ステップ的に動くため高精度の動きが期待できる．作製はフォトレジストを犠牲層としてNiメッキを用いたプロセスで行い，全工程を110℃以下の低温プロセスで行った．作製されたアクチュエータは機械的に可動であり，ベアリング部が正常に働いていることは確かめられたが，静電力により電気的に可動であるかはまだ確認していない．また，アクチュエータに働く静電力を求めるシミュレーションも行い，新しい静電アクチュエータの性能評価も行った．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 57 Kバイト