ＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）マイクロバルブ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-165

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): PDMS (polydimethylsiloxane) microvalve

著者名: 細川 和生(機械技術研究所),前田 龍太郎(機械技術研究所)

著者名(英語): Kazuo Hosokawa(Mechanical Engineering Laboratory),Ryutaro Maeda(Mechanical Engineering Laboratory)

キーワード: マイクロバルブ|PDMS|シリコーン|SU-8|ディープRIE|マイクロ化学分析システム

要約(日本語): マイクロ化学分析システム（マイクロタス）への応用をめざし，マイクロバルブを開発した．このマイクロバルブは，流路（幅１４０ミクロン，高さ２０ミクロン）とメンブレン（３５０ミクロン角，厚さ２５ミクロン）からなっており，メンブレンを空気圧で変形させることによって流路の開閉を行うものである．流路・メンブレンともにシリコーンラバーの一種であるＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）を用いて，それぞれ型成形，スピンコートによって製作した．型成形技術とＤＲＩＥの採用により，従来にくらべて製作工程が大幅に簡素化されている．メンブレンの変形実験およびバルブシステムの特性評価実験の結果を報告する．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 201 Kバイト