近視野光学顕微鏡に用いるフォトダイオード集積型微小開口付きカンチレバー

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-167

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): Photodiode Integrated Cantilever with Tiny Aperture forScanning Near Field Optical Microscopy

著者名: 田中 康太郎(東北大学),佐々木 実(東北大学),羽根 一博(東北大学)

著者名(英語): Kotaro Tanaka(Tohoku University),Minoru Sasaki(Tohoku University),Kazuhiro Hane(Tohoku University)

キーワード: 近視野光学顕微鏡|片持ち梁|微小開口|フォトダイオード

要約(日本語): Si微細加工技術を用いて近視野光学顕微鏡に用いるフォトダイオード（PD）を集積した微小開口を持つカンチレバーを製作した。集積したPDを用いてSNOM観察を行い、表面形状の情報をもつ像を得た。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 104 Kバイト