導波路直接駆動型マイクロスキャナの製作

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-168

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): Fabrication of Direct Drive Waveguide Micro Scanner

著者名: 三浦 宏介(東北大学),南 和幸(山口大学),羽根 一博(東北大学)

著者名(英語): Kosuke Miura(Tohoku University),Kazuyuki Minami(Yamaguchi University),Kazuhiro Hane(Tohoku University)

要約(日本語): 比較的柔らかく透明性の高い光学用ポリイミド（OPI)を用いて光導波路を直接ねじり駆動することでスキャニングを行うマイクロスキャナを製作した。光導波路の駆動には電磁力を用い電気配線及び光導波路の製作には、フォトリソグラフィ、ドライエッチング等の微細加工技術を用いた。

原稿種別: 日本語

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