微小力測定プローブによる微小トルク測定

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-169

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): Micro-torque Measurement with Micro-force sensor probe

著者名: 尾上 寧(横河電機),菊地 長保(横河電機)

著者名(英語): Yasushi Onoe(Yokogawa Electric Corporation),Osayasu Kikuchi(Yokogawa Electric Corporation)

キーワード: マイクロアクチュエータ|微小トルク測定|歪センサ|ピエゾ抵抗

要約(日本語): 近年、マイクロアクチュエータの発展に伴う微小化に伴い、発生トルクも小さくなり、特性を測定・評価することが困難になってきている。我々はこれらアクチュエータを評価するための微小力測定プローブを開発し、最小１ｍＮレンジで分解能１μＮの力測定を実現した。このプローブを用い微小モータの発生トルクを半径×接線方向の力という形で測定する方式のトルク測定装置を試作し、市販の極小モータ（φ1.9mm）を用いて測定可能性を実証した。装置のコンセプトと実測例を報告する。本研究は、工技院産技プロジェクトの一環として、ＮＥＤＯから依託を受けた（財）マイクロマシンセンターの再委託業務として実施したものである。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 108 Kバイト