プラズマRIEによるLiNbO3結晶の加工表面形状評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-170

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): Etching Surface Form Evaluation of LiNbO₃ Crystal in Plasma RIE

著者名: 西村 崇司(同志社大学),林 慎一郎(同志社大学),吉門進三 (同志社大学)

著者名(英語): Takashi Nishimura(Doshisya University),shinnitirou Hayashi(Doshisya University),shinzou Yoshikado(Doshisya University)

キーワード: LiNbO₃|電界センサ|プラズマ反応性イオンエッチング|原子間力顕微鏡|形状計測

要約(日本語): LiNbO₃ 結晶は電気光学効果を有するため，電界センサに応用されている．このセンサの高周波化を図るため，数μｍ微細加工を施す，リッジ型構造にする必要がある．そこで，プラズマRIEに着目し，表面形状の評価を行った．前回までに，CF₄ +Arの混合ガスで，Ar⁺のボンバード効果により，凹凸が生じた．今回はこの凹凸の原因を検討した．凹凸は基板温度の上昇に伴い，粒径が細かくなり先端が鋭くなることがわかった．この凹凸に関してエッチング時間にしきい値をもつことがわかった．エッチング時に基板温度が上昇しない様にすることで，エッチング速度を低下させることなく，表面に凹凸のない異方性エッチングが実現できることがわかった．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 231 Kバイト