リンク梁駆動によるダブルジンバル構造型３軸角速度センサ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-187

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): Triple Axis, Link Beam Driven Angular Rate Sensor Based on Double Gimbal Structure

著者名: 番 政広(三菱電機),紺野伸顕 (三菱電機),岡田 章(三菱電機),宇佐美 照夫(三菱電機),藤田 博之(東京大学)

著者名(英語): Masahiro Tsugai(Mitsubishi Electric Corporation),Nobuaki Konno(Mitsubishi Electric Corporation),Akira Okada(Mitsubishi Electric Corporation),Teruo Usami(Mitsubishi Electric Corporation),Hiroyuki Fujita(Institute of Industrial Science,The University of Tokyo)

キーワード: ３軸角速度センサ|ダブルジンバル構造|PZT|ピエゾ抵抗

要約(日本語): 本論文では、製作プロセスが単純で、リンク梁駆動によるねじれ参照振動励起を行う方式を基本とした、ダブルジンバル構造の３軸振動型角速度センサの構造、プロセス、試作評価結果に関して報告する。本方式の角速度センサは、以下の４つの特長を有する。（１）低電圧大変位駆動が可能なため高感度出力化が可能（２）３軸角速度測定が可能（３）大気圧動作のため、真空封止パッケージングが不要（４）高周波数化によるセンサロバスト性の向上等の特長を有するセンサである。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 79 Kバイト