超磁歪アクチュエータによる超微細送り機構に関する検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 4-210

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): Discussion of Novel Positioning System a Giant Magnetostriction Actuator for Ultra Precision and High Power Applications

著者名: 小菅 昌宏(茨城大学),中野 博民(茨城大学),村上 伸(茨城大学),江田 弘(茨城大学),近藤 良(茨城大学),浅野 健治(茨城県工業技術センター),森 輝夫(TDK)

著者名(英語): Masahiro Kosuge(Ibaraki University),Hirotami Nakano(Ibaraki University),Sin Murakami(Ibaraki University),Hiroshi Eda(Ibaraki University),Ryou Kondou(Ibaraki University),Kenji Asano(Industrial Technical Center of ibaraki Prefecture),Teruo Mori(TDK)

キーワード: 超磁歪アクチュエータ|超精密位置決め機構|位置制御|電流制御

要約(日本語): 本論文では，超磁歪アクチュエータによる超微細送り機構を用いた超精密位置決め制御を報告している。この機構は，最大送り幅数μｍの範囲による数ｎｍ単位の高精度かつ超微細送りの位置決め制御を行っている実システムである。また，この実システムにおいて制御される超微細送りテーブルの大振幅動作，小振幅動作の微細送り制御を検討し，軽量荷重の位置決めばかりでなく大荷重数百㎏の超微細送りテーブルの制御についても検討している。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 333 Kバイト