超微細送り機構用の超磁歪アクチュエータに関する検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 4-211

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

タイトル(英語): Discussion of Giant Magnetostriction Actuators for Ultraprecision Positioning System

著者名: 宮本 良司(茨城大学),中野 博民(茨城大学),村上 伸(茨城大学),近藤 良(茨城大学),江田 弘(茨城大学),周立波 (茨城大学),清水 淳(茨城大学),浅野 健治(茨城県工業技術センター)

著者名(英語): Ryouji Miyamoto(Ibaraki University),Hirotami Nakano(Ibaraki University),Sin Murakami(Ibaraki University),Ryou Kondou(Ibaraki University),Hiroshi Eda(Ibaraki University),Libo Zhou(Ibaraki University),Jyun Shimizu(Ibaraki University),Kenji Asano(Industrial Technical Center of Ibaraki Prefecture)

キーワード: 超磁歪アクチュエータ|超微細送り機構

要約(日本語): これまで様々な分野で超磁歪材料の応用について研究が進められ，その利用法が数多く考え出されている。今回，数μｍの範囲において数ｎｍの精度で動作する超精密位置決め機構用超磁歪アクチュエータとして，内蔵磁石によって磁気バイアスをかけたものと内蔵磁石の無いものとの試作を行った。本論では，試作した二種類の超磁歪アクチュエータの変位特性を調べ超精密位置決め機構に悪血適切な使用条件を種々検討したので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 233 Kバイト