放電プラズマの最先端応用技術の現状-酸化膜エッチング用UHF-ECRプラズマの解析-

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-S2-2-2

グループ名: 【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集

発行日: 2000/03/21

著者名: 数見秀之 (日立製作所),前田賢治 (日立製作所),川原博宣 (日立製作所)

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 372 Kバイト